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極紫外光刻

極紫外光刻

Intel官方宣布,位于俄勒岡州的晶圓廠已經(jīng)收到ASML發(fā)貨的全球第一臺(tái)高NAEUV極紫外光刻機(jī),型號(hào)為TwinscanEXE:5000”,它將幫助Intel繼續(xù)推進(jìn)摩爾定律。Intel早在2018年就向ASML訂購(gòu)了這種新一代光刻機(jī),將用于計(jì)劃今年量產(chǎn)的Intel18A制造工藝,也就是1.8nm級(jí)別。新光刻機(jī)的價(jià)格估計(jì)至少3億美元,甚至可能達(dá)到或超過4億美元,也就是逼近人民幣30億元現(xiàn)有低NAEUV光刻機(jī)需要2億美元左右。...

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