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對于空間光學(xué)等超輕型光學(xué)系統(tǒng)來說,典型光學(xué)工藝就是難以生產(chǎn)出滿足其嚴(yán)格要求的形狀...研究配圖 - 2:產(chǎn)生三葉形變的設(shè)計部分 / 25 個制造用單元顯微圖像 / 形變測量...實(shí)驗(yàn)表明,在用于他們制造的 X 射線鏡時,該技術(shù)可極其出色的消除失真...為此,MIT 團(tuán)隊進(jìn)一步開發(fā)了這項(xiàng)技術(shù),最終發(fā)明了所謂的英里張量介觀結(jié)構(gòu)(簡稱 STM)—— 這是一種排列在薄基板背面、且疊加在應(yīng)力圖層上的準(zhǔn)周期單元...Schattenburg 指出:“具有納米級精度的硅晶片的自由成型,需要計量、力學(xué)和制造這三方面的通力協(xié)作”......