隨著半導(dǎo)體產(chǎn)線生產(chǎn)工藝流程越來越復(fù)雜，產(chǎn)線設(shè)備間的傳統(tǒng)物料搬運(yùn)方式，已經(jīng)成為制約生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量的瓶頸。為此，AMHS自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生，在半導(dǎo)體晶圓制造環(huán)節(jié)的應(yīng)用開始逐漸普及。AMHS系統(tǒng)的特點(diǎn)與應(yīng)用價(jià)值主要體現(xiàn)在:高可靠性、高自動(dòng)化與信息化、高效率、高度靈活性與可擴(kuò)展性。格創(chuàng)東智認(rèn)為，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)演進(jìn)，晶圓的尺寸不斷增大，?...

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